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离子刻蚀
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哈佛大学物理系Amir Yacoby团队Adv. Mater.:单晶金刚石中按照晶体学方向的反应离子刻蚀
编辑部实习生
2018-02-09
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【引言】 在纳米光学、量子计算、量子光学等领域中,如何按照设计理想地刻蚀单晶金刚石一直是个非常重要的问题。在湿刻蚀方法中,可利用氢氧化钾(KOH)在单晶硅中实现...
离子刻蚀