高迁移率p型透明氧化物半导体——这个领域里公认的“圣杯级”难题。n型氧化物已取得巨大成功,例如氧化铟锡(ITO)作为透明电极材料广泛应用于平板显示和光伏器件,非晶铟镓锌氧化物(IGZO)则推动了薄膜晶体管技术的革新。然而,p型一侧的发展却长期停滞不前,其根本原因在于价带顶(VBM)通常由O 2p轨道组成,能量位置较深且波函数高度局域化,严重阻碍了空穴的产生与输运。
解决这一问题的基本思路是明确的:要抬升VBM的能量位置,就需要引入具有高能占据态的阳离子轨道与O 2p轨道发生杂化。Cu+的3d10能级足够高,由此发展出了CuAlO₂等delafossite体系;Sn2+的5s2能级同样较高,SnO是目前已知性能最好的本征p型氧化物之一,其VBM约位于‒5.8 eV(相对于真空能级)。然而,这种ns2轨道能级沿Sn→Pb→Sb→Bi→Te→Po序列依次降低,意味着其对VBM的抬升效应逐渐减弱,p型掺杂的可行性也随之下降。例如,PbO的VBM已降至‒6.2 eV,难以实现有效的p型掺杂。按照这一化学趋势,Sb2O3、Bi2O3、TeO2和PoO2成为p型半导体的可能性更低。多年来,矿物学和陶瓷学界的基本共识正是:TeO2是绝缘体。

Jpn. J. Appl. Phys. 52 (2013) 090001综述图13. 宽带隙氧化物电子结构示意图:a. n型SnO2;b. Cu2O;c. SnO
2021年的“重磅突破”:二维β-TeO2 = 高迁移率p型半导体?
2021年4月,墨尔本大学Ali Zavabeti、Torben Daeneke等在Nature Electronics上发表Article,标题为:“High-mobility p-type semiconducting two-dimensional β-TeO2”。合成策略颇为巧妙:利用Te–Se低共熔体(5 wt% Te / 95 wt% Se)在270–300 °C空气中表面氧化,通过类Cabrera–Mott过程“滚涂打印”出双层厚度的β‑TeO2纳米片(~1.5 nm,横向可达数平方毫米级),转移至目标基底后进行电学表征。
作者报道了一系列引人关注的器件结果:背栅FET呈现明显的p型开关,Ion/Ioff > 106;室温场效应空穴迁移率均值约146±42 cm2 V‒1 s‒1,最佳器件达232 cm2 V‒1 s‒1,低温下甚至超过6000 cm2 V‒1 s‒1;霍尔效应测试给出p型霍尔信号,并推算二维空穴浓度 p2D ≈ 1.04×109 cm‒2,霍尔迁移率约141 cm2 V‒1 s‒1。基于这些输运与器件指标,原论文将二维β‑TeO2阐释为一种宽带隙、高迁移率p型透明半导体。

Nat. Electron.原文图4. β-TeO2的场效应晶体管测试
理论先声:TeO2为何不能是p型?
早在2013年,Hideo Hosono便在其综述Jpn. J. Appl. Phys. 52 (2013) 090001中总结出一条重要的经验规律:可实现空穴掺杂的氧化物,其VBM能量位置高于约‒6 eV。一旦VBM降至‒6 eV以下,O 2p轨道的深度和局域性将使受主掺杂变得极为困难。结合前述沿Sn→Pb→Sb→Bi→Te→Po序列的化学趋势,TeO2的VBM预期较低,会跨过这条“p型红线”。
2025年1月,肖泽文、邱晨、魏苏淮和Hideo Hosono在Chinese Physics Letters正式发表快讯“Is p-Type Doping in TeO2 Feasible?”,从两个层面系统论证了这一判断。

第一,电子结构层面。β-TeO2的VBM主要由O 2p轨道构成,Te 5s轨道能量位置远低于O 2p,二者之间的杂化极其微弱,对VBM的抬升作用可以忽略不计。计算表明,β-TeO2的VBM约位于‒6.2 eV。作为参照,VBM与之相近的PbO(‒6.2 eV)和CsPbCl3(‒6.3 eV)均已被证实难以实现p型掺杂。按照相同的化学趋势,TeO2的命运不言而喻。

CPL论文图1. TeO2的晶体结构和电子结构

CPL论文图2. 能带排列图
第二,缺陷热力学层面。在全化学势空间内扫描了所有内禀点缺陷——氧空位、碲空位、碲间隙、氧间隙以及反位缺陷。结果无一例外:所有转变能级均位于带隙深处,平衡费米能级被牢牢钉在带隙中央,本征电子与空穴浓度均小于1 cm⁻³(实质为零),呈现典型的绝缘体特征。尤为致命的是氧空位:作为深施主,它在p型区竟具有负形成能,这意味着一旦有人试图通过受主掺杂引入空穴,氧空位便会自发形成并释放电子,将费米能级拖回带隙中央。这种“自补偿”机制从根本上封死了TeO2通往p型的所有路径。

CPL论文图3. β-TeO2中本征缺陷的转变能级:a. 块体;b. 单层

CPL论文图4. β-TeO2中本征缺陷的形成能:ab. 块体;cd. 单层
2026年正式交锋:Nature Electronics刊出Matters Arising
经过完整的同行评审流程,肖泽文与Hideo Hosono的评论文章作为Matters Arising于2026年6月9日正式在线发表于Nature Electronics,题为“Two-dimensional β-TeO2 as an intrinsic insulator despite conflicting transport signatures”。该文的论证策略极为犀利:不引入任何新的实验数据,仅通过对原作者已发表数据的重新分析,揭示其中无法调和的内在矛盾,并指出唯有绝缘体的物理图景能与所有证据自洽。
第一,局域谱学证据指向绝缘体。扫描隧道谱(STS)直接测量了转移至TEM网格上的二维β-TeO2薄片,完全排除了衬底干扰。结果显示带隙为3.66 eV,带隙内无可探测的态密度,费米能级位于VBM之上1.38 eV。代入二维空穴浓度公式p2D = Nv,2D·exp[−(EF−Ev)/kBT],其中Nv,2D ≈ 5.51×1012 cm‒2,计算得到的空穴浓度仅为4×10‒11 cm‒2(等同于零)。X射线光电子能谱(XPS)的独立估算也给出约4×10‒4 cm‒2的空穴浓度,同样等同于零。两种原子尺度的局域探针给出的结论完全一致:β-TeO2是绝缘体。

Nat. Electron.原文补充图4. β-TeO2的STS数据

Nat. Electron.原文图3b. β-TeO2的XPS数据及VBM和CBM能级
第二,宏观输运数据的矛盾暴露了方法学层面的局限。原作者报道的霍尔效应和场效应管数据确实表现出p型信号,但问题在于宏观输运测量的是整个器件尺度上的总电流,对任何导电通道都极为敏感。如果器件中存在导电衬底引入的旁路漏电、SiO₂/Si界面陷阱辅助导电层,或是残留Te或Se形成的微观渗流路径,电流完全可能绕过β-TeO₂薄片本身,产生虚假的p型霍尔信号。这正是该评论文章强调的核心方法学要点:关于掺杂效应的论断,必须经由不依赖于衬底的局域探针加以验证,使输运数据与能带结构基本原理相互校准,而不能将观测到的电导率直接等同于材料本征载流子浓度的贡献。
第三,紫外光电子能谱(UPS)数据自身不自洽。原作者报道的UPS给出的功函数仅为3.88 eV。p型半导体因费米能级靠近VBM,功函数通常偏高,例如硼掺杂硅为4.8–5.17 eV,Cu2O为4.74–5.07 eV。3.88 eV这一数值甚至低于许多n型氧化物的典型功函数范围,显然无法与p型半导体的能带图像自洽。原作者在后来的Reply中也承认,该数据因实验配置问题,大部分信号来自衬底而非β-TeO2本身。

Nat. Electron.原文拓展数据图7. β-TeO2的UPS数据
唯有绝缘体的物理图景与所有证据自洽。综合以上三点,肖泽文与Hideo Hosono得出结论:β-TeO2在本征状态下是绝缘体。那么,原作者观测到的p型导电信号究竟从何而来?该评论文章指出了另一种可能性:Zavabeti等人的合成方法涉及Te-Se低共熔体,XPS已检出2.3 at%的残余Se;而TeO2在空气中加热时已知可发生部分分解,生成亚化学计量的TeO2‒x乃至单质Te。单质Se、单质Te以及Te1‒xSex合金本身就是高迁移率p型半导体,体相空穴浓度约1014 cm‒3量级(对应二维空穴浓度约为109 cm‒3量级,与原作者的霍尔效应数据吻合),在超薄层或界面处足以对电导产生决定性贡献。因此,观测到的p型信号更可能源于样品中残留的单质相,而非β-TeO2本身。
原作者的Reply:承认了一件事,但回避了核心
同日,Zavabeti、Daeneke等在Nature Electronics发表Reply。他们做出了一个重大让步,承认UPS的实验配置有问题,分析光斑尺寸远大于β-TeO2薄片的面积,大部分信号实际来自薄片周围的裸露衬底区域而非β-TeO2本身,由此导致了错误的功函数数值。作为补救,他们改用扫描开尔文探针力显微镜(SKPFM)直接在薄片上进行定点测量,在HOPG和p+-Si衬底上均给出约4.84 eV的功函数,这一数值至少在方向上与p型半导体的特征一致。
然而,真正关键的问题在于他们重新确定的VBM位置。他们用更高分辨率的XPS测量,将VBM重新锚定在费米能级之上仅0.20±0.06 eV处,对应的VBM相对于真空能级为–5.04±0.06 eV。这个数值本身就高度可疑:如果Te 5s轨道对VBM几乎没有贡献,VBM理应以O 2p为主,其能量位置应低于–6 eV。而–5.04 eV比理论预期抬升了1 eV有余,在物理上极难解释。更值得质疑的是,XPS价带谱在VBM附近并没有一段清晰的线性区域可用于可靠地外推起点,0.20 eV这一读数在很大程度上取决于基线选择和主观判断。缺陷热力学计算早已表明,平衡状态下β-TeO2的费米能级应钉扎在带隙中央,本征p型掺杂在热力学上是不可能的。

Nat. Electron.回复论文图1. 原作者重新评估的β-TeO2的能带图
更广泛的启示:这不是TeO2一个问题,而是一类氧化物的系统性判据
这场争论的意义远远超出了β-TeO2这一个材料体系。它暴露出的核心矛盾——声称的宏观电学性质与本征电子结构之间存在根本性脱节——在一系列超宽禁带氧化物中反复出现。
肖泽文与Hideo Hosono提出的“轨道能级判据”清楚地表明:当材料中缺乏足够高能的阳离子占据轨道(如Cu 3d10、Sn 5s2等)与O 2p发生有效杂化时,VBM就完全由深而局域的O 2p主导,能量位置沉到约–6 eV以下,空穴有效质量很大,本征空穴浓度在热力学上被锁死。此时材料在本征状态下就是绝缘体,任何观测到的“p型信号”都无法从本征电子结构层面获得支持,更可能来自非本征原因,例如样品中引入了不该有的外来导电相。
ZnGa2O4就是一个典型案例。超宽禁带尖晶石ZnGa2O4(Eg ∼ 5.0 eV)曾被Chikoidze等报道为高温p型半导体,归因为ZnGa反位受主。但Guo与肖泽文在PRB 112, 195203 (2025)中系统证明:其VBM纯为O 2p,GaZn反位施主在整个p型EF区具有负形成能,触发自补偿把EF钉在带隙中央乃至n型侧,p型根本进不去。原作者给出的霍尔数据与XPS测得的EF甚至互相矛盾,所谓“高温p型”更像是非本征因素在高温下被激活的假象,而非材料本征属性的体现。

LiGa5O8则是最近的翻版。Zhang等将这一超宽禁带尖晶石(Eg ∼ 5.3 eV)报道为稳健的p型半导体,并把p型导电归因于氧空位——这在基础半导体物理上就是方向性错误:氧空位是施主而非受主。Zhu与肖泽文在刚在线发表的PRB 113, 235205 (2026)中直接用第一性原理阐明:VBM同样是纯O 2p、深而局域;VO是深施主;GaLi反位施主在p型EF区形成能为负,自补偿机制从根本上封死p型路径;连n型也因CBM偏高而被抑制——LiGa5O8本质上是绝缘体,其本征电子结构不支持任何形式的p型导电。

把这些案例放在一起看,规律就很清楚:当VBM ≲ –6 eV(纯O 2p)时,本征p型掺杂在热力学上几乎注定失败。此时若还能测到p型信号,往往不是材料本身的本征行为,而是残余相、界面旁路或测量伪影在说话。这也正是β-TeO2这篇Matters Arising给出的方法学警告所指向的更一般结论:宏观电学性质的宣称,必须经得起本征电子结构的检验。
相关链接
Zavabeti, A., Aukarasereenont, P., Tuohey, H. et al. High-mobility p-type semiconducting two-dimensional β-TeO2. Nat. Electron. 4, 277–283 (2021). https://doi.org/10.1038/s41928-021-00561-5
β-TeO2的Matters Arising论文:
Xiao, Z., Hosono, H. Two-dimensional β-TeO2 as an intrinsic insulator despite conflicting transport signatures. Nat. Electron. (2026). https://doi.org/10.1038/s41928-026-01658-5
β-TeO2的Reply论文:
Zavabeti, A., Murdoch, B.J., Aukarasereenont, P. et al. Reply to: Two-dimensional β-TeO2 as an intrinsic insulator despite conflicting transport signatures. Nat. Electron. (2026). https://doi.org/10.1038/s41928-026-01659-4
β-TeO2的理论论文
Xiao Z., Qiu C., Wei S-.H., Hosono H. Is p-type doping in TeO2 feasible? Chinese Phys. Lett. 42, 016103 (2025). https://doi.org/10.1088/0256-307X/42/1/016103
ZnGa2O4论文:
Guo J., Xiao Z. ptype ultrawide band gap spinel ZnGa2O4: A critical theoretical reevaluation; Phys. Rev. B 112 (19), 195203 (2025). https://doi.org/10.1103/p7wk-qbtp
LiGa5O8论文:
Zhu Y., Xiao Z. Spinel LiGa5O8 as a p-type ultrawide band gap semiconductor: A critical theoretical reevaluation; Phys. Rev. B 113 (23), 235205 (2026). https://doi.org/10.1103/dw4g-kzpm




